激光切割機的尺寸精度是由切割機數(shù)控機床性能、光束質(zhì)量、加工現(xiàn)象決定的整體精度，包括定位精度及重復精度等靜態(tài)精度和表示隨切割速度變化的加工形狀軌跡精度，即動態(tài)精度。光束質(zhì)量對加工精度的影響來自于光束的圓度、強度的不均勻性以及光軸的紊亂。加工現(xiàn)象決定的精度與氧化反應熱混亂產(chǎn)生的異常燃燒、熱膨脹、切割面粗糙、材質(zhì)等被加工件的物性有關。在一般材料的激光切割機過程中，由于切割速度較快，工件的熱變形很小，通過對設備的精確調(diào)試和必要的程序補償，光束質(zhì)量和加工現(xiàn)象對加工尺寸精度影響可以降低到較小的程度，此時切割工件的尺寸的精度主要取決于切割機數(shù)控工作臺的機械精度和控制精度。